产品简介
特性:
1、FMR是负性感光抗蚀剂,有较好的耐酸、耐碱性。
2、FMR的解像性比较好,由于抗蚀剂中的金属离子含量极少,所以适合于半导体管(电晶体)、二极体、IC(集成电路)和LSI(大规模高密度集成电路)等方面使用。
使用方法: 1、表面处理:对金属板进行完全的脱脂、脱锖,请用本公司的Neocupron(用水稀释5-10倍)和弱碱水(2%氨水)进行中和,脱脂后请充分用水洗。 2、涂布处理:可用多种涂布方法,如旋转、浸蘸、喷涂等。 3、烘干:置入热风恒温干燥器中,80-1000C,20分钟;或置于加热板上,80-1000C,2分钟。 4、曝光:用i线(365nm)~g线(436nm)曝光。 5、显像:使用FMR显像液,在常温下显影1分钟,用FMR洗涤液冲洗30秒。 6、烘烤:在1500C的情况下,加热20-30分钟,或置于加热板上,1500C,3分钟,可以提高耐腐蚀性。 7、蚀刻:按常规处理。 8、剥膜:使用FMR剥膜液,在常温下浸渍2-3分中,然后用水洗。
包装: 2L / 1L
种类及危险等级:
品 名 |
种类分四类 |
危险等级 |
FMR |
第2石油类 |
Ⅲ |
FMR显影液 |
第2石油类 |
Ⅲ |
FMR稀释液 |
第1石油类 |
Ⅱ |
FMR染色液 |
第2石油类 |
Ⅲ |
FMR冲洗液 |
第1石油类 |
Ⅱ |
FMR剥膜液 |
第2石油类 |
Ⅲ |
注意事项: 保存在10-200C的阴凉处,感光液及稀释液体是易燃品,请远离火源!
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